实现半导体产业链的自主可控，核心装备是关键突破口。近日，卓海科技第100台完全自主研发的半导体量检测设备成功发运，这不仅是一个数字的跨越，更是其核心技术能力成熟、产业化进程加速的重要里程碑。作为深耕半导体前道量检测领域的国家级专精特新重点“小巨人”企业，无锡卓海科技股份有限公司（下称卓海科技）再次以硬核实力，交出了这份亮眼答卷。
修锻利剑砺真功，研铸锋芒出硬核
量检测设备是确保芯片制造良率的关键环节，技术壁垒极高。对晶圆表面形貌、膜厚、关键尺寸、缺陷等工艺参数进行高精度、非破坏性测量与检测，是保障芯片良率与可靠性的核心关卡。
在精密复杂的芯片制造过程中，量检测设备如同“火眼金睛”，VLSI（超大规模集成电路）数据显示，2024年全球半导体检测和量测设备市场规模高达143.5亿美元，占制造设备比重约13%，是仅次于光刻、刻蚀、薄膜沉积的关键设备类别。然而，该领域长期被国际巨头垄断。无锡卓海科技作为国家重点“小巨人”企业、量检测设备领域国内主力军的代表，不断加强核心技术攻关，产品性能不断取得突破。
高精密加工设备 石春蕾供图
卓海科技自2009年创立以来，便锚定半导体量检测这一细分赛道。公司凭借对行业痛点的深刻理解，走出了一条“修研并举，双轨驱动”的特色发展道路——“修”中砺剑，通过深度服务客户设备维护，积累了海量一线工艺数据和失效经验，为自主研发奠定了坚实基础；“研”铸锋芒，自2020年起，公司组建高水平自研团队，专注于攻克核心技术难关。短短数年，卓海科技成功实现了应力测量设备、方块电阻测量设备、反射光谱膜厚测量仪、无图形晶圆缺陷检测设备、探针式表面轮廓仪等多款前道关键量检测设备的自主研发与产业化。
2024年，卓海科技先后获得江苏省首台（套）重大装备产品认定、国家重点“小巨人”资金支持。这一独特发展路径，使得卓海科技不仅具备扎实的技术功底，更拥有贴近市场需求的快速响应能力。
从“自研”到“量产”，开启行业新纪元
第100台自研设备的成功发运，标志着卓海科技的产品在关键性能、稳定性、可靠性上经受住了客户的严格考验，技术成熟度得到市场认可，打通了从研发设计、核心部件攻关到整机组装调试、批量生产的全链条，具备稳定的规模化交付能力，为下游芯片制造企业提供了更多元、可靠的国产化选择，有效增强了产业链韧性。正是这种执着和激情，推动着卓海科技成为具备整机研发能力的高科技企业。
卓海科技董事长相宇阳强调：“作为国家级重点‘小巨人’企业，突破关键核心技术、服务国家战略需求是我们的使命。第100台设备的发运是新征程的起点。我们将继续聚焦主业，加大研发投入，特别是在更先进制程、更复杂工艺的量检测技术领域持续深耕，不断提升核心竞争力，为中国半导体产业链的完全自主可控贡献卓海力量！”
在全球半导体产业格局深度调整与国产替代浪潮澎湃向前的背景下，卓海科技凭借其深厚的技术积累、独特的“修研并举”模式迎来前所未有的发展机遇。未来，这家专注于细分领域的“小巨人”，有望在半导体前道量检测这片高地上，树立起更多闪耀着中国智慧的里程碑。
本文仅代表作者观点，不代表本刊立场。
